X射线荧光光谱分析的基本原理是:当物质受到强烈的Ⅹ射线辐射时,物质中各个组分的原子吸收了一部分入射射线的光量子,使原子的内层电子由低能阶激发到高能阶。处于激发状态的原子是极不稳定的,势必在一个极短时间内释放出多余的能量,使电子跳回到低能阶。这部分释放出来的能量即以X射线荧光的形式放出。受激的电子回到低能阶可以有多种不同的电子跃迁过程。由量子力学理论可知,凡是符合选择定则的跃迁都是允许的,也是可能发生的,否则就不可能发生。不同的跃迁过程所释放出来的能量亦互不相同,即使使用单色X射线来辐射物质,所得到的Ⅹ射线荧光也有若干波长不同的谱线,如Kx、KB、La等。与一次Ⅹ射线谱一样,每种元素都具有其一定波长的标识射线谱。所以,只要测定Ⅹ射线荧光光谱中每一条谱线的波长,并考虑X射线谱仪的分辨率,就可鉴别试样中存在哪些元素。这是定性分析。

    定量分析是根据标准试样先绘出工作曲线,然后对要测试样进行对比分析。工作曲线是根据Ⅹ射线荧光光谱的谱线强度与元素含量之间的线性关系绘制的。试样的不同厚度和不同状态对X射线荧光光谱的谱线强度有一定影响。例如,测定波长较短的谱线强度时,由于这些谱线具有较高的穿透能力,因此对试样的厚度应加以注意。在试样的定厚度范围内,X射线荧光光谱的谱线强度随试样厚度的增加而增大,只有当试样厚度超过某一临界值时,谱线强度才与试样厚度无关。所以,要取得可靠的分析结果,必须使试样具有足够的厚度。

  X射线荧光光谱分析的优点：操作方便，准确度高，分析速度快，既可以做常量分析，又可测定纯物质中的某些杂质元素。此外能分析的元素也比较多。新式的X射线荧光光谱分析仪可以分析原子序数在9以上的所有元素。目前已成为炉前快速分析的主要设备。

X荧光光谱分析仪实现现场、快速、无损、准确的检测,2-3秒显示合金牌号、元素、百分比含量。采用智能光束（Smart Beam）可Ti、V精度可达0.02%,能很好的区分不锈钢304 与321,铬合金P91与9铬,钛合金7级钛与纯钛等等。测试结果可以连接电脑输出打印，仪器具有标准测试结果版本，极大方便客户编辑、打印结果信息。用于不锈钢、合金钢、工具钢牌号鉴定及成份、含量检测，包含常用不锈钢牌号201 203 301 304 316 321等几百种。用于铜合金牌号及成份检测，包含黄铜、青铜、紫铜、纯铜等；用于各种混杂合金成份及检测，包含钛合金、锡合金、铅合金、钨合金、锌合金、铝合金、镍合金等；用于贵金属检测。包含金、银、铂、铑、钯。